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| 型号 | OPT-SmartFlash-1010 |
|---|---|
| 拍摄元件 | 2000万像素COMS |
| 受光镜头 | 双倍双远心镜头 |
| 镜头视野（广视野） | 82x55mm |
| 镜头视野（高精度） | 30x20mm |
| 照明系统（透射光） | 远心平行光源（绿色） |
| 照明系统（落射光） | 四通道多角度漫射照明（可选绿色）、低角度指向性照明（可选绿色）、同轴光（选配） |
| Z1，Z2轴移动范围 | 72mm |
| 量测范围（广视野） | 82x55mm |
| 量测范围（高精度） | 30x20mm |
| 重复精度（工作台未移动-广视野模式） | ±1μm |
| 重复精度（工作台未移动-高精度模式） | ±0.5μm |
| 测量精度±2σ（无拼接*1-广视野模式） | ±3μm |
| 测量精度±2σ（无拼接*1-高精度模式） | ±2μm |
| 工作台最大载重 | 5KG |
| 工作距离 | 145mm |
| 电源系统 | 110-240V，50-60Hz，功率350W |
| 工作环境 | 温度25±10℃，湿度20%-80%RH（无凝结） |
| 型号 | OPT-SmartFlash-2020 |
|---|---|
| 拍摄元件 | 2000万像素COMS |
| 受光镜头 | 双倍双远心镜头 |
| 镜头视野（广视野） | 82x55mm |
| 镜头视野（高精度） | 30x20mm |
| 照明系统（透射光） | 远心平行光源（绿色） |
| 照明系统（落射光） | 四通道多角度漫射照明（可选绿色）、低角度指向性照明（可选绿色）、同轴光（选配） |
| XY轴移动范围 | 155*155mm |
| Z1，Z2轴移动范围 | 72mm |
| 量测范围（广视野） | 220x200mm |
| 量测范围（高精度） | 180x160mm |
| 重复精度（工作台未移动-广视野模式） | ±1μm |
| 重复精度（工作台未移动-高精度模式） | ±0.5μm |
| 重复精度（工作台移动-广视野模式） | ±2μm |
| 重复精度（工作台移动-高精度模式） | ±1.5μm |
| 测量精度±2σ（无拼接*1-广视野模式） | ±3μm |
| 测量精度±2σ（无拼接*1-高精度模式） | ±2μm |
| 测量精度±2σ（有拼接*2-广视野模式） | ±(5+0.02L)μm |
| 测量精度±2σ（有拼接*2-高精度模式） | ±(3+0.02L)μm |
| 工作台最大载重 | 3KG |
| 工作距离 | 145mm |
| 电源系统 | 110-240V，50-60Hz，功率350W |
| 工作环境 | 温度25±10℃，湿度20%-80%RH（无凝结） |
| 型号 | OPT-SmartFlash-3020 |
|---|---|
| 拍摄元件 | 2000万像素COMS |
| 受光镜头 | 双倍双远心镜头 |
| 镜头视野（广视野） | 82x55mm |
| 镜头视野（高精度） | 30x20mm |
| 照明系统（透射光） | 远心平行光源（绿色） |
| 照明系统（落射光） | 四通道多角度漫射照明（可选绿色）、低角度指向性照明（可选绿色）、同轴光（选配） |
| XY轴移动范围 | 235x155mm |
| Z1，Z2轴移动范围 | 72mm |
| 量测范围（广视野） | 300x200mm |
| 量测范围（高精度） | 240x160mm |
| 重复精度（工作台未移动-广视野模式） | ±1μm |
| 重复精度（工作台未移动-高精度模式） | ±0.5μm |
| 重复精度（工作台移动-广视野模式） | ±2μm |
| 重复精度（工作台移动-高精度模式） | ±1.5μm |
| 测量精度±2σ（无拼接*1-广视野模式） | ±3μm |
| 测量精度±2σ（无拼接*1-高精度模式） | ±2μm |
| 测量精度±2σ（有拼接*2-广视野模式） | ±(5+0.02L)μm |
| 测量精度±2σ（有拼接*2-高精度模式） | ±(3+0.02L)μm |
| 360°旋转装置*3（旋转角度） | 分辨率0.02°，范围360° |
| 360°旋转装置*3（旋转速度） | 0.2-2转/秒 |
| 360°旋转装置*3（最大可测直径） | 55mm |
| 高度测量*4（XY测量范围） | 110x155mm |
| 高度测量*4（重复精度） | ±2μm |
| 高度测量*4（测量精度） | ±(6+L/100)μm |
| 高度测量*4（高度） | 72mm |
| 高度测量*4（侧头光点直径） | 19.2μm |
| 高度测量*4（分辨率） | 0.012μm |
| 工作台最大载重 | 3KG |
| 工作距离 | 145mm |
| 电源系统 | 110-240V，50-60Hz，功率350W |
| 工作环境 | 温度25±10℃，湿度20%-80%RH（无凝结） |
管理员
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